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半导体光刻石英玻璃加工_精密半导体石英环_晶圆承载环

发布时间:2022/7/8


半导体行业有三种精密材料,分别是半导体微晶玻璃、硅片、半导体石英玻璃。半导体领域讲究清洁生产,需要严格规避碱金属污染。石英是一种高纯的二氧化硅,主要用在半导体制程里的高温扩散,低温蚀刻环节,表现额为石英载具,石英舟,石英夹具等。

石英玻璃制品是晶圆厂商用在半导体制造设备中的耗材,国际主要半导体设备制造商对于其设备上使用的石英制品有严格的筛选标准,且在产业链中拥有强势话语权。不管是石英材料还是制品均需通过设备商的认证,才能成为产业链当中的一环。

精密半导体石英环

半导体精磨石英环


半导体石英玻璃产品根据加工工艺还可分为:IC刻蚀石英环、半导体精磨、抛光石英环、半导体晶圆清洗定位环、半导体石英淋浴盘。公司还可加工定制LAM半导体刻蚀石英环、东京电子半导体刻蚀石英环、晶圆承载环、异形石英环、缺角石英圈等石英环。

异形石英玻璃环

石英玻璃下游主要集中在半导体、光伏、光纤、电光源、航空航天等领域。石英玻璃一般会先加工成锭、筒、棒、管等形式后再进一步加工,比如石英锭、筒是半导体制程扩散、氧化、沉积、蚀刻工艺中所用石英法兰、扩散管、钟罩的材料;合成石英锭也可做光掩膜基版的主要基材;光纤预制棒中95%以上为高纯度石英玻璃,且在生产过程中也需要消耗大量的石英玻璃材料。

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