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玻璃蚀刻成型|石英玻璃激光蚀刻加工

发布时间:2022/11/19

玻璃蚀刻成型|石英玻璃激光

微流体和光学传感平台通常由玻璃和熔融石英(石英)制成,因为它们具有光学透明性和化学惰性。氢氟酸(HF)溶液是用于深度蚀刻二氧化硅衬底的选择的蚀刻介质,但是由于HF迁移穿过大多数掩模材料的侵蚀性,对于大于1小时的蚀刻时间,处理方案变得复杂和昂贵。

石英玻璃蚀刻

石英玻璃激光蚀刻加工

石英玻璃因其优异物化属性而被广泛应用于激光核聚变系统、半导体光刻设备、各类光学设备,以及生物、医学、化学检测领域。激光作为一种应用广泛的加工技术,近年来激光技术在石英玻璃加工领域一直是研究的热点,目前采用高能激光束加工石英玻璃的激光器主要为超短脉冲激光器以及普通脉冲紫外激光器。

石英玻璃激光蚀刻加工在特定的环境中进行激光刻蚀石英玻璃能够实现比空气条件下进行激光刻蚀石英玻璃更好的刻蚀质量;采用掩膜刻蚀能够较好的解决单束激光不能兼顾低裂损和高去蚀率的问题,能够实现在保证高去蚀率的同时实现无裂损刻蚀。

蚀刻石英玻璃

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